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真空泵及真空知识

2017/5/8 13:50:57      点击:

真空知识及真空泵


 一、真空概念:   


  半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空,分类如下表所示:




真空一般是用特制的抽气机获得,它的气体稀薄程度用真空计测定,现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造,太阳能电池片制造,光学膜制造、电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面均有广泛应用。


普通真空泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空;

 油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空;

扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为“高”真空;


不同真空度状况下分子密度状态:


二、真空装备:     


        真空泵是最主要的真空装备、从产生真空原理上分为:容积式真空泵(如液环泵,螺杆泵,罗茨泵等);动量传递式真空泵(如分子泵:喷射真空泵:扩散泵均属于此类);气体捕集式真空泵(如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等)

按照国标:GB/T 3163-97《真空技术名词术语》具体分类如下:



动量传递式真空泵:


利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体或气体分子,使气体不断地从入口传输到出口的真空泵

分子泵:牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。

分子真空泵(分子泵)是1913年德国人盖德(W. Gaede)发明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力,所以称为牵引分子泵。


工作压力范围宽,在10-1~10-8Pa范围内具有稳定抽速;极限压强可达10-9Pa以下;起动时间短,能抽除各种气体和蒸汽;


分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用,这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。

      复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体,在很宽的压强范围内(10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了出口压强。

复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:

涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合;

涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;

涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压强;

在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。


喷射真空泵


分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类

喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体,使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵

原理:


水喷射泵是用水作为工作介质,通过高速射流来引射被抽气体,使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。



单级泵的极限压强为3.3kPa,两级串联可获得好一些的真空度,主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用,也可作为其他真空泵的前级。

真空泵按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵,喷射泵特点:结构简单、工作稳定可靠

可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体

抽气量大,应用广泛:冶金、化工、食品制造等领域:

缺点:抽气效率低,能量损失大:


扩散泵:以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置,油扩散泵有分馏装置


不同真空度对于设备表:



2.1真空泵


2.1.1液环真空泵

 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环内界面之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。

综上所述,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵

水环真空泵由于用水或其它液体做工作液,所以其抽气性能及真空度受工作液的温度影响较大,如果工作液的温度较高,真空泵的入口真空度达到液体的饱和蒸汽压,水(液)环真空泵便会产生气蚀现象,气蚀的存在对泵的寿命损害比较大,主要表现为叶轮叶片的根部及排气圆盘的排气口附近,有规则的气蚀冲击孔。为了避免气蚀的产生,可以降低工作液的温度,或者降低真空泵的使用真空度,极限压力为3300~5000Pa之间。


2.1.2旋片式真空泵    


  如图为旋片泵的工作原理示意图。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 

 旋片式真空泵极限压力为0.05~1Pa。主要适合于高真空,洁净空气的工况


2.1.3滑阀式真空泵


工作原理与旋片式真空泵相似,但对泵腔没有磨擦,因此稳定性要好于旋片式真空泵 


2.1.4往复式真空泵  


往复泵的结构如上图所示,主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞,活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。除上述主要部件外还有排气阀和吸气阀等重要部件,以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。

 运转时,在电动机的驱动下,通过曲柄连杆机构的作用,使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时,由于气缸的左腔体积不断增大,气缸内气体的密度减小,而形成抽气过程,此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最右位置时,气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动,此时吸气阀关闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩,当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时,排气阀4被打开,将气体排到大气中,完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时,又重复前一循环,如此反复下去,被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力。

为提高抽气效率,一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀,然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。 

  往复真空泵从安装形式来分,有卧式往复真空泵及立式往复真空泵;从油润滑来分,有有油往复真空泵及无油往复真空泵。卧式往复真空泵一般为有油式,立式多为无油式。


2.1.5 喷射真空泵


水喷射真空泵工作原理如图所示,高压水泵产生的具有一定压力的水通过喷嘴在吸入室内高速喷出,将水的压力能转变成动能,吸入室内的气体被高速射流挟带,是吸入室内的压力降低,被抽气体从吸入室的吸入口进入,从而实现抽真空的功能。     水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵,关键部件为喷嘴,所以此泵结构简单,维修频率低。


2.1.6罗茨真空泵 


 罗茨泵的结构如上图所示。在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。   罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

罗茨真空泵分为常规罗茨泵及气冷直排大气罗茨泵,常规罗茨泵承受的压差小大约为3000~6000Pa,所以常规罗茨泵必须带前级泵预抽,不能直接排大气。气冷罗茨泵因为增加了热量平衡装置可以直接排大气,气冷罗茨真空泵的极限压力为13000Pa。


罗茨真空泵工作原理:


如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时(图中a),下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时(图中b),该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时(图中c),下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时(图中d),上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程。180°(图e)位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。


2.1.6爪形真空泵


爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;

因爪形真空泵为多级串联结构,排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体;


2.1.7螺杆真空泵   


      螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内各大制药和化工企业得到广泛应用。


优点:寿命长、能耗低、无油污染。

两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备。

传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,极少数用皮带或者传动链传动。


2.1.8油扩散泵 


2.1.8.0原理如下:


1.锅炉内的扩散泵油经电加热沸腾形成蒸汽; 

2.油蒸汽经过导流管进入伞形喷嘴,形成超音速蒸汽流 

3.由于存在密度梯度,油蒸汽射流上方的被抽气体扩散到蒸汽射流内部,获得动量,被携带到泵壁上

4.油蒸汽在水冷泵壁上冷凝释放出气体,被前级泵抽走

5.冷凝油滴沿泵壁流回锅炉。


2.1.8.1扩散泵的性能:


扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。

当泵入口压强很低时,气体从前级通过射流的反扩散会增加,同时工作油蒸汽的含气量和泵壁放气影响变得显著。

入口压强较高时,大量气体分子进入射流与蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰减较大,增大了前级的反流,抽速降低;

油扩散泵的极限压强与前级侧气体的反扩散、泵壁温度下泵油的饱和蒸汽压、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放气量以及泵壁的放气量等因素密切相关,当泵的出口压强小于某一出口压强p2max时,泵的入口压强不受出口压强的影响,气体的反扩散对泵的极限压强影响不大。

油扩散泵的最大出口压强取决于最后一级喷嘴的工作状态,与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及最后一级喷嘴的结构有关。


 2.1.8.2最大出口压强

油扩散泵的最大出口压强取决于最后一级喷嘴的工作状态,与蒸汽射流密度、喷嘴蒸汽流量以及最后一级喷嘴的结构有关。 


2.1.8.3 减少返油的措施

(1)返油源于以下四个方面凝结于顶喷嘴表面的油膜蒸发,占总返油量的70%左右;泵壁上凝结油膜的蒸发,与泵壁的冷却状况有关;蒸汽射流碰壁后的散射,与射流强度有关;蒸汽射流中油分子向高真空侧的扩散,与射流温度有关,在顶喷嘴上加挡油帽,可大幅减少顶喷嘴表面油膜的蒸发返油量,且对泵的抽速影响不大——现代扩散泵的标配;

(2)减少返油的措施在泵入口处加挡油环或者挡油阱,可以减少泵壁上凝结油膜的蒸发返油量


2.1.9钛升华泵

2.1.8.1 TSP的工作原理与抽气性能:


TSP的结构:吸气面、升华器、控制器


工作过程:通电加热钛丝至1100 ℃直接升华,沉积到冷却的表面上,形成钛膜,与活性气体结合成稳定的化合物(固相的TiO或TiN),抽除气体分子。

吸附机理:比较复杂,通常认为是物理吸附和化学吸附的综合作用,以化学吸附为主。


2.1.8.2 钛升华器的要求

能提供所需的钛升华率;

钛升华率易于调节,可连续或间断的提供吸气剂;

钛升华器本身出气少或易于去气;

有足够的工作寿命,即有足够的钛存储量


2.1.8.3 低升华率和高升华率两种钛升华器

小功率升华器:升华率每小时几十毫克,吸气剂量为几克到几十克的升华器,工作可靠,结构简单,操作方便,主要作为辅助泵

高升华率升华器:升华率每小时几克到几十克,作为主泵使用

2.1.8.4升华器的加热方式

加热方式有电阻加热式、热传导加热式、辐射加热式、电子轰击加热式等类型将加热源和升华源两部分独立,利用钛球壳内的钨丝加热,利用辐射加热空心钛球,使之升华,加热均匀,储钛量大;但是加热丝固定困难,易烧断;


2.1.9锆铝吸气泵


2.1.9.1锆铝吸气泵的结构与工作原理:


泵芯是锆铝合金(84%:16%)粉末涂敷在金属吸气带上做成的,主要成分为Zr5Al3和Zr3Al2。

合金结构是铝进入锆晶格,产生很多孔穴,增加锆的吸气面积,提高扩散速率180 ℃以下以表面吸附为主,180℃ 以上以体内扩散为主350~450 ℃ 范围内对所有的活性气体都有很高的抽气能力

锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体;


2.1.9.2 锆铝吸气泵


优点:结构简单、体积小、造价低,操作安全可靠,维修方便,清洁无油,对活性气体,尤其是对氢具有很高的抽气能力。

缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的,其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。


2.1.9.3锆铝吸气泵的饱和与激活


锆铝吸气剂长期在高温下工作,会出现“饱和”,吸气率下降;甚至吸气剂表面形成氧化膜,失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时,就需要进行再激活处理:在<1Pa的压强下,加热至750~850 ℃ ,使吸气剂表面的固体氧化膜分解,使金属和气体的产物向更深的体内扩散,生出高度活泼的金属表面,同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复激活多次(~20次),直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。


3.2锆铝吸气泵的工作条件


压强低于10-3Pa时,抽活性气体的工作温度为400 ℃,体内扩散速率是金属表面维持足够的吸气速率而不能释放氢;

10-3~1Pa范围内,抽活性气体工作温度为750 ℃——提高温度加速体内扩散,

加速清洗吸气剂表面,对H2要求高抽速,工作温度为400 ℃

对纯氢要求大抽速和大吸气量是,工作温度一般为200~300 ℃

对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时,可室温工作

高真空或者超高真空系统中,工作温度一般为400 ℃


2.1.9低温泵 

       

低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压强大大降低,获得并维持真空状态的抽气装置,是一种储存式捕集抽气,气体并没有排出泵外,一旦冷凝表面温度发生变化,它抽走的气体又会重新释放,破坏真空。

应用: (1)外太空模拟;(2)高能物理、等离子体研究;(3)薄膜制备领域;(4)微电子学,尤其是半导体微电子技术中——离子注入,离子刻蚀;(5)现代表面分析仪器中。

4.1低温抽气原理

基本原理    

  设法使某一固体表面温度足够低,使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温度,则大部分气体被凝结,从而达到抽真空的目的

抽气机理

速度分布决定捕获率的学说,认为飞到冷表面的气体分子中,仅仅是能量低于某一临界值的分子才被捕获;

动态平衡学说,认为飞到冷表面上的气体分子停留在冷表面上,同时另外一些分子从表面蒸发,离开表面,被捕集和离开表面的分子之差就是抽气速率

低温冷凝泵:按低温冷凝原理抽真空的泵

构成:低温介质冷却的抽气表面;辐射屏;泵体


2.1.8低温吸附泵


低温吸附泵:利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附以达到抽气作用的泵按吸附剂不同,分为三类

1.非金属吸气剂:活性炭、分子筛等位吸附剂

2.金属吸附剂:以蒸发或升华在冷表面上的钛、锆、钼等金属或合金作为吸气剂

3.气体霜的捕集吸气:以CO2、水蒸气等易冷凝的气体在低温表面上成霜作为吸附剂,这些气体成霜的同时,将不易冷凝的气体一起埋葬或吸附抽除,低温泵抽混合气体比单一气体效果好,实际使用的是将冷凝和吸附结合,构成冷凝吸附泵而获得极高真空。

 

2.1.8制冷机低温泵

顾名思义,即把低温面及挡板组装在封闭循环制冷机系统中,与制冷机组合为一体的低温泵。

特点:便于抽气系统实现完全自动化控制;可实现较高的抽速,S≥100m3/s理论极限压强:4.2K温度下,除He、H2、Ne外,各种气体的pS都很小,对绝大多数气体来说,极限压强获得10-9Pa是很容易的。


2.2获得超高真空需要考虑因素如下:

2.2.1影响极限压强的因素·    

    表面脱附·      

  体内扩散逸出·     


   大气渗透作用·      

  材料的饱和蒸汽压

2.2.2 材料的选择与处理

烘烤、Ar离子放电清洗

2.2.3 泵的选用   

2.3部分真空泵的主要特点及比较

2.3.1粗抽泵对照表:


2.3.2不同类型真空泵应用范畴:


2.3.2螺杆真空泵与爪形真空泵的特点对比:

       共同点:同为干式真空泵,具备干式真空泵的共同优点; 对被抽系统无污染,可获得洁净真空泵腔内无油,非常容易实现对溶剂的回收;结构紧凑,占地面积小。  

    单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力,工作范围较宽;因工作过程中无废油、废水的排放,对环境无污染;     

 对冷却水的要求较低,对于泵的冷却,普通的循环水即 可满足要求,且冷却水量较小,根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组,可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。      

不同点:因爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;而螺杆真空泵仅需严格控制定位端的一个端面间隙,及转子间的先对间隙即可,对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定,检修更方便。排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体;

螺杆真空泵因其排气通道简单,进入泵内的液体可迅速排出,且轴功率无明显增加。

因爪形真空泵为多级串联结构,上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道,该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗;而螺杆真空泵的级间无需通道,是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便:启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。

2.3.3其它部分真空泵的特点:

(1)水环式真空泵  

优点:结构简单,成本低,应用范围较宽,适合抽除大量水蒸汽,有机溶剂等,对粉尘,颗粒物不敏感,可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。   

 缺点:效率较低,真空度较差,工作液的种类及温度对真空度及抽气速率影响较大,环保压力大。

(2)旋片式真空泵    

优点:真空度高;

缺点:不适合抽除水蒸汽、有机气体,不能连续抽除大气。

(3)滑阀式真空泵:

优点:真空度高,使用寿命要好于旋片式真空泵;   

缺点:不适合抽除水蒸汽、有机气体,不能连续抽除大气


2.3 部分真空泵使用注意事项


2.3.1水环真空泵 

开泵前要进行手动盘车; 进水温度不能太高,最好不要超过30℃;

 工作水硬度尽可能小,否则泵内容易结垢;水环真空泵的排气管路不能安装阀门,以免误操作让泵出口带压运行;水环真空泵出口排水管路尽可能低(距泵中心高度不超过一米),防止工作水不能顺畅排放,影响泵的性能;

水环泵使用真空要避开气蚀条件,否则会影响泵的寿命;

水环真空泵的供水管路要加装手动阀,调节泵的供水大小;

停泵前先关供水阀,让泵内过多的工作水排出;泵的入口加装单向阀或其它类似阀门,防止停泵时工作水倒灌入系统中;

在结冰的环境中使用时,停泵后将泵内工作水排放彻底,以防结冰冻裂真空泵


2.3.2罗茨真空泵及螺杆真空泵


启动盘车

每次启动真空泵前,操作人员要手动转动泵的联轴器,确保真空泵运转顺畅后,方可做正式启动准备。

如果真空泵转动困难,请用蒸汽清洗2~3分钟,然后用N2吹扫2~5分钟,蒸汽和N2压力不高于0.2MPa,以免损坏真空泵密封。

检查油位是否正常,若油位过低请及时加油。

开启真空泵排气口处放净阀,将管道内的冷凝液排净,以防排气阻力过大,损坏设备甚至造成人身伤害。

开启冷却水,保证冷却水路畅通,冷却水供应充足。

启动前级真空泵,当真空度达到罗茨泵的启动条件后方可启动罗茨泵;

进行了1~4程序后螺杆真空泵可以开机;


停机

1、关闭主管路进气阀门。

2、先停罗茨真空泵,再停前级泵;

3、冬季停机时要将冷却水排放干净;

4、关主阀后对泵进行清洗吹扫,再关螺杆泵;


日常维护 

1、每日检查泵的润滑油颜色、油位,若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因,更换新油。

2、每日检查后轴承压盖温度,若温度突然升高要及时停车检查。

3、时刻注意电机电流,若电流突然升高,要及时停机进行排查。

4、每日检查冷却水,出水温度是否过高,高于55℃是要注意检查分析原因冷却水供应是否充足。

5、真空泵在首次运行一个月后,无论润滑油是否异常,都要进行更换。

6、被抽气体中含有可凝性气体,出口分离器内会有冷凝液积存,注意及时放,以免停机时倒吸进入泵腔内。

7、每次停机时要注意观察螺杆真空泵是否快速返向转动超过2秒钟,如果是,请检查单向阀是否出现故障。   螺杆真空泵反转气体倒吸很危险!

8、设备运转一年,或长时间停机后再应用,请拆解设备更换轴承及密封件,对设备进行彻底清洗维护。


2.3真空系统典型组成:


2.4真空及典型应用领域:


2.5常见真空泵故障处理措施:


2.4真空泵系统配件:1.真空系统KF,ISO,NW,CF的区别与应用