真空镀膜设备污染物的来源

真空键膜设备由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。

此外,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来,构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。

此外,真空镀膜设备在使用过程中,零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源,设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能,应注意随时清除。

好的清洁处理工艺,可以提高设备的极限压力超高真空系统真空室材料多为不锈钢,对不锈钢的清洗极为重要。

真空镀膜技术中的清洁处理一般涉及真空镀膜设备的结构材料、装填材料、真空零部件的清洁处理和真空镀膜设备的环境要求及真空镀膜工艺过程中基片的清洁处理问题。这些问题既是独立的,也是互相联系的。

1、在真空镀设备的研制过程中,只有严格地清洁处理好各个零部件后,才能保证该设备的性能稳定。只有先进的真空镀膜设备才能生产出合格的镀膜产品。

2、先进的真空镀膜设备必须安装在符合镀膜真空工艺的环境要求的实验场所,才能保证镀膜生产工艺的进行。

3、在镀膜生产工艺中,基片表面洁净直接决定了镀膜前处理工艺过程及对基片进行清洗处理的配方,因此它决定了是否能生产出合格的键膜产品。

由此可知,真空镀膜技术中的清洁处理是十分重要的。必须引起广大真空键膜科技人员高度重视。