一般情况下，利用外力将一定密闭容器内的气体分子移走，使该空间内的气压小于一个大气压，则该空间内的气体物理状态就被称为真空。

1643年，***物理学家Torricelli的大气压实验，***揭示了真空这种低压、稀薄的气体物理状态的存在，并且得到了大气压的定义（把高度为760 mm的水银柱所产生的压力定义为一个大气压1atm）和真空量度的依据。

真空度采用气体压强来表征，最开始始用的真空度单位是毫米汞柱高mmHg（1atm=760mmHg）。

1958年，人们为纪念Torricelli，用其姓名前四个字母torr来代替mmHg作为真空度的单位（1 torr＝1 mmHg）。

而后也开始采用厘米克秒制（CGS制），以bar作为单位（1bar=1×105Pa），而更为常见的是mbar（1mbar=100Pa）。

目前随着国际标准化进程的推进，逐渐盛行国际单位制（SI制，即MKS制），真空度以Pa为单位（1atm=1.013×105Pa）比较流行。

如果我们记住括弧中的真空度常用单位换算关系式，会比较快速理解和计算真空换算。

真空的如何获得？

我们人人都有人为获得真空的体验，比如用吸管喝饮料时，其原理是我们把吸管中的空气给吸走，造成吸管内的真空（吸管内的气压小于外界大气压），在压力差的作用下把易拉罐内的饮料通过吸管压入我们口中。

同理，制备现代薄膜材料时，所需要的真空也可以用一种设备来“吸”走沉积室内的空气，我们将这种设备称之为真空泵。

根据真空泵的工作原理不同，可分为气体输运泵（气体不断吸入并排出真空泵以达到排气的目的）和气体捕获泵（利用活性炭等吸气材料和冷源装置将被抽空间内的气体分子吸除）两大类。根据真空泵工作压强范围，可分为前级泵（开始工作压强较高）和后级泵（开始工作的压强较低）。

旋片式机械泵，为气体输运泵的一种，它可直接从大气压开始工作，是常用的前级泵。